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多晶硅高效硅锭引晶装置及其引晶方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅高效硅锭引晶装置及其引晶方法,解决了现有的硅晶体自发形核引晶颗粒容易导致非均匀形核和晶核品质低的问题。包括在石英坩埚(1)的坩埚底的氧化硅涂层(2)上均布有引晶颗粒(3)引晶颗粒芯的粒径为0.15-0.3毫米,在引晶颗粒芯的外表面上粘合有碳化硅碎粒或氮化硅碎粒的粘合包覆层,粘合包覆层中的碳化硅碎粒或氮化硅碎粒的粒径小于或等于0.003毫米。将选取的碳化硅碎粒与纯水及粘合剂一起放入到搅拌器中搅拌15-20分钟,制成密度大于2.33克/每立方厘米的碳化硅碎粒糊状悬浮液体,将引晶颗粒芯放入到悬浮液体进行包覆,然后烘烧冷却。特别适用于在坩埚中生产多晶硅高效硅锭的生产过程中。

著录项

  • 公开/公告号CN104152988A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-11-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山西中电科新能源技术有限公司;

    申请/专利号CN201410455963.0

  • 申请日2014-09-10

  • 分类号C30B28/06;C30B29/06;

  • 代理机构太原华弈知识产权代理事务所;

  • 代理人李毅

  • 地址 030032 山西省太原市经济技术开发区唐槐路5号

  • 入库时间 2023-12-17 02:24:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-15

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B28/06 申请公布日:20141119 申请日:20140910

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-12-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B28/06 申请日:20140910

    实质审查的生效

  • 2014-11-19

    公开

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