法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B28/06 申请公布日:20141119 申请日:20140910
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B28/06 申请日:20140910
实质审查的生效
2014-11-19
公开
公开
机译: 用于生产多晶硅或多晶硅的设备和工艺;所生产的多晶硅或多晶硅的晶锭以及晶片,并用于制造太阳能电池
机译: 中空棱晶硅锭生产用锅,中空棱晶硅锭的生产方式和等离子蚀刻装置用部件的生产方式,是用于中空棱晶硅锭的生产设备和
机译: 中空棱晶硅锭生产用锅,中空棱晶硅锭的生产方式和等离子蚀刻装置用部件的生产方式,是用于中空棱晶硅锭的生产设备和