首页> 中文会议>第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会 >异质引晶在高效多晶硅铸锭中的应用

异质引晶在高效多晶硅铸锭中的应用

摘要

采用球状二氧化硅颗粒作为籽晶生长多晶硅锭,并采用溶胶凝胶法在颗粒表面制备局部包覆的氮化硅涂层,以此来降低硅熔体对颗粒的溶蚀,降低硅锭中碳、氧等杂质浓度.结果显示采用氮化硅包覆的球状二氧化硅颗粒作为籽晶,可以长出均匀细长的柱状多晶硅,其中粒径在0.8~1.2mm之间的球状二氧化硅颗粒具有好的引晶效果.

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