公开/公告号CN104198495A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201410443373.6
申请日2014-09-02
分类号G01N21/88;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2023-12-17 03:00:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-19
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N21/88 申请公布日:20141210 申请日:20140902
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20140902
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
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