公开/公告号CN104441096A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 诸暨市光裕竹业有限公司;
申请/专利号CN201410640390.9
申请日2014-11-13
分类号B27D1/04;B27D1/08;B27N3/08;B32B21/06;B32B37/12;B32B37/06;B32B37/10;
代理机构浙江永鼎律师事务所;
代理人王梨华
地址 311806 浙江省绍兴市诸暨市璜山镇齐村
入库时间 2023-12-17 04:19:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B32B21/06 申请公布日:20150325 申请日:20141113
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):B27D1/04 申请日:20141113
实质审查的生效
2015-03-25
公开
公开
机译: 电子束曝光系统,电子束去偏校正方法及电子束去偏测量方法
机译: 离子源中的束照射电极的去膜装置,具有该离子源的离子源以及束照射电极的构件的去膜
机译: 带电粒子束曝光设备,曝光方法,模板以及用于测量束边去毛量和确定所需反射率的方法