法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-19
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N27/04 申请公布日:20141224 申请日:20140930
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/04 申请日:20140930
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 电容耦合法非接触式测量半导体载流子浓度和电导率
机译: 非接触式测量硅芯片的局部寿命-使用与芯片电容耦合的振荡电路,并测量表面电导率和阻尼系数
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