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一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法

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本发明涉及传感器领域，公开了一种弯折状态下具有电阻补偿功能的电阻式柔性气体传感器及其制备方法，该传感器包括绝缘柔性衬底，绝缘柔性衬底的上表面和下表面上分别设有至少一个传感单元；每个所述传感单元包括一对电极以及设于电极之间的气体敏感材料薄膜，所述电极和气体敏感材料薄膜均设于绝缘柔性衬底表面。本发明在柔性材料上下两个表面设置电极与气体敏感材料薄膜(即传感单元)，弯折形变时，这两个传感单元受到相反的应变作用，产生相反的电阻值变化，从而起到补偿应变引起的电阻变化的作用。相对于目前基于材料或器件结构设计而获得的应变“免疫”，这种弯折应变导致电阻变化的补偿方法能在更具有普适性，更加简便易行，成本更低。

著录项

公开/公告号CN110806429A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-18

原文格式PDF
申请/专利权人杭州市富阳区浙工大银湖创新创业研究院;浙江固微科技有限公司;
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申请/专利号CN201910730078.1
发明设计人胡军;谢波;王一涛;韩芳;
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申请日2019-08-08
分类号
代理机构杭州杭诚专利事务所有限公司;
代理人尉伟敏
地址 311400 浙江省杭州市富阳区银湖街道九龙大道中国智谷C2号楼13楼
入库时间 2023-12-17 05:26:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-03-13

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/12 申请日:20190808

实质审查的生效
2020-02-18

公开

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