公开/公告号CN110686620A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201810739177.1
发明设计人 吴萍;
申请日2018-07-06
分类号G01B11/26(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
入库时间 2023-12-17 06:04:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/26 申请日:20180706
实质审查的生效
2020-01-14
公开
公开
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机译: 长度和角度红外测量系统-通过将平面发光二极管倾斜到光栅来提供梯形强度分布,并指定与光束宽度,二极管到光栅的距离以及扫描平面到光栅的距离有关的条件