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用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法

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本发明实施例涉及用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法。本发明实施例涉及一种用于半导体制造设施的传输系统，其包含：轨道，用于载运车辆；传感器，其安装于所述轨道上；控制器；及配电盘。所述传感器经布置以确定区，并响应于所述区中的车辆数量而发送数量信息。所述控制器经布置以根据所述数量信息来发送输出信号。所述配电盘经布置以根据所述输出信号来调整电流，其中将所述电流输出到沿所述轨道延伸的电缆。

著录项

公开/公告号CN110648954A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03

原文格式PDF
申请/专利权人台湾积体电路制造股份有限公司;
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申请/专利号CN201910554561.9
发明设计人黎辅宪;董启峰;沈香吟;
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申请日2019-06-25
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人龚诗靖
地址中国台湾新竹市新竹科学工业园力行六路8号
入库时间 2023-12-17 06:34:29

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2020-01-03

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