• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种直流磁控溅射制备耐腐蚀纯钛薄膜的方法

一种直流磁控溅射制备耐腐蚀纯钛薄膜的方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明公开一种直流磁控溅射制备耐腐蚀纯钛薄膜的方法，包括基底表面处理、基底放置镀膜腔室、反向沉积清理基底表面、溅射镀膜以及取出镀膜基底制得成品等步骤，可针对阀门、反应釜等产品，采用合理的表面处理、工装固定及溅射镀膜工艺，在其表面上负载纯钛薄膜，使其满足质量和耐腐蚀要求，且工艺流程简单、效率高，过程可控，无环境污染，易于实现工业化生产。

著录项

  • 公开/公告号CN110952067A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-04-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国船舶重工集团公司第七二五研究所;

    申请/专利号CN201911099485.3

  • 发明设计人 吴晓飞;杨学东;蒋鹏;

    申请日2019-11-12

  • 分类号

  • 代理机构洛阳公信知识产权事务所(普通合伙);

  • 代理人王学鹏

  • 地址 471000 河南省洛阳市洛龙区滨河南路169号

  • 入库时间 2023-12-17 06:51:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20191112

    实质审查的生效

  • 2020-04-03

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号