公开/公告号CN110770614A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-07
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880038858.3
发明设计人 建峰·陈;克里斯托弗·丹尼斯·本彻;D·马克莱;
申请日2018-04-24
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 07:17:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20180424
实质审查的生效
2020-02-07
公开
公开
机译: 使用倍频干涉光刻的线栅偏振器制造方法
机译: 压印光刻方法,用于压印的主模板,使用该主模板制造的线栅偏振器以及具有该主模板的显示基板
机译: 压印光刻方法,用于压印的主模板,使用该主模板制造的线栅偏振器以及具有该主模板的显示基板