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具有用于磁控溅射的脉冲和离子流量控制的脉冲功率模块

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本文中描述电功率脉冲生成系统和该系统的操作方法。主能量储存电容器供应负DC功率，突跳能量储存电容器供应正DC功率。主脉冲功率晶体管介于主能量储存电容器与输出脉冲轨之间并包括主功率传送控制输入结构以控制从主能量储存电容器到输出脉冲轨的功率传送。正突跳脉冲功率晶体管介于突跳能量储存电容器与输出脉冲轨之间并包括突跳功率传送控制输入结构以控制从突跳能量储存电容器到输出脉冲轨的功率传送。正突跳脉冲功率晶体管控制线连接到正突跳脉冲晶体管的突跳功率传送控制输入结构。

著录项

公开/公告号CN110771022A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-07

原文格式PDF
申请/专利权人星火工业有限公司;
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申请/专利号CN201880040072.5
发明设计人大卫·N.·鲁左克;罗伯特·安德鲁·斯图伯斯;布莱恩·爱德华·尤尔兹克;
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申请日2018-06-12
分类号
代理机构北京高文律师事务所;
代理人徐江华
地址美国伊利诺斯州尚佩恩市
入库时间 2023-12-17 07:30:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-19

实质审查的生效 IPC(主分类):H02M3/145 申请日:20180612

实质审查的生效
2020-02-07

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