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接触式激光干涉位移传感器及测量方法

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本发明涉及一种接触式激光干涉位移传感器及测量方法，其克服了现有技术中无法直接实现对大尺寸及高精度零件的测量的问题，实现对大尺寸及高精度零件的精密测量。本发明包括传感器轴套，中空的测杆通过固定在传感器轴套前端的滚动副设置在传感器轴套上，测杆的前端依次设置有测子和反射镜，准直器设置在传感器轴套的后端，准直器并与光纤连接，光纤与调频连续波干涉信号处理器连接。测杆的前端和后端分别设置有前限位块和后限位块，前限位块和后限位块与测杆之间通过螺纹连接。

著录项

公开/公告号CN111023982A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-17

原文格式PDF
申请/专利权人西安工业大学;
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申请/专利号CN202010005142.2
发明设计人孙彬;郑刚;张雄星;白浪;
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申请日2020-01-03
分类号
代理机构西安新思维专利商标事务所有限公司;
代理人黄秦芳
地址 710032 陕西省西安市未央区学府中路2号
入库时间 2023-12-17 08:30:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20200103

实质审查的生效
2020-04-17

公开

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