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压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器和压电传感器

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摘要

压电薄膜(3)是包含金属氧化物的压电薄膜(3)，其中，金属氧化物含有铋、钾、钛、铁和元素M，元素M为镁和镍中的至少一种，至少一部分金属氧化物为具有钙钛矿结构的晶体，晶体的(001)面、(110)面或(111)面在压电薄膜(3)的表面的法线方向(dn)上进行取向。

著录项

公开/公告号CN111435699A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-21

原文格式PDF
申请/专利权人 TDK株式会社;
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申请/专利号CN202010016953.2
发明设计人森下纯平;
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申请日2020-01-08
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人杨琦
地址日本东京都
入库时间 2023-12-17 09:55:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-14

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/18 申请日:20200108

实质审查的生效
2020-07-21

公开

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