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半导体设备多线程并发调度重算方法、系统及控制系统

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摘要

本发明公开了一种半导体设备多线程并发调度重算方法、系统及控制系统，方法包括：接收重新调度操作指令，创建重算事件，为重算事件设置调度标识；将重算事件的调度标识设置为与当前的全局调度标识相等；对重算事件进行重新调度计算并输出对应的机台动作序列，同时判断调度标识是否与当前的全局调度标识相等，若是则修改全局调度标识并将机台动作序列下发到半导体设备执行，否则将机台动作序列抛弃；将多个并发的重算事件分别在不同的线程进行重新调度计算，首先判断最先完成重新调度计算的重算事件的调度标识是否与当前的全局调度标识相等。实现避免多线程并发调度重算锁死问题。

著录项

  • 公开/公告号CN111475308A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN202010274767.9

  • 发明设计人 柴加加;

    申请日2020-04-09

  • 分类号

  • 代理机构北京思创毕升专利事务所;

  • 代理人孙向民

  • 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

  • 入库时间 2023-12-17 11:11:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F9/52 申请日:20200409

    实质审查的生效

  • 2020-07-31

    公开

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