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薄膜形压电材料的压电常数的测量方法

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摘要

一种薄膜形压电材料的压电常数的测量方法,在形成一有底部电极和顶部电极的薄膜形压电材料之后,在顶部电极上放置一显微镜并测量薄膜的位移高度;从压力机构产生一气压并将其施加到薄膜上;一电荷测量装置测量从薄膜产生的电荷;利用测得的电荷和所施加气压的大小计算薄膜形压电材料的压电常数。用气压法将均匀的气压加到压电材料的整个表面可测量压电常数,而不必考虑压电材料的布局,也不会引起薄膜形压电材料的缩短或塑性变形。

著录项

公开/公告号CN1220399A

专利类型发明专利
公开/公告日1999-06-23

原文格式PDF
申请/专利权人大宇电子株式会社;
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申请/专利号CN97108713.X
发明设计人金东局;
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申请日1997-12-18
分类号G01R29/22;
代理机构柳沈知识产权律师事务所;
代理人李晓舒
地址韩国汉城
入库时间 2023-12-17 13:25:32

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2003-10-29

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2001-03-07

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
1999-06-23

公开

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