法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-12
授权
授权
2004-08-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-08-13
公开
公开
机译: 激光束加工装置包括:非接触支撑部件,其用于支撑工件;激光束施加部件;用于相对于激光束施加部件供给工件的加工供给部件;以及碎片张紧部件。
机译: 激光加工方法,使用圆偏振涡旋激光束的激光加工方法,具有针状体的部件的制造方法以及具有针状体的部件
机译: 激光加工方法,激光加工装置以及通过该激光加工方法制造的结构部件