公开/公告号CN1728184A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 JDS单相公司;
申请/专利号CN200510073961.6
申请日2000-10-10
分类号G07D7/12;G07D7/00;
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人田军锋
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 16:55:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G07D7/12 申请公布日:20060201 申请日:20001010
发明专利申请公布后的驳回
2006-03-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-02-01
公开
公开
机译: 使用公共路径干涉仪形成干涉图样的曝光设备和装置制造方法以及使用干涉图样来计算投影光学器件的光学特性的处理器
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