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在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法

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摘要

一种镀覆技术领域的在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法，在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上，采用螺旋形热丝结构进行复杂形状刀具金刚石涂层的沉积，将复杂形状刀具竖直放入螺旋形热丝结构的内部，其轴心和螺旋形热丝结构的中心相重合，在沉积过程中，复杂形状刀具自身通过设备工作台绕其轴心旋转，采用螺旋形热丝结构保证了复杂形状刀具各部分与热丝之间的距离均匀，使复杂形状刀具周围的碳源基团浓度均匀相等，从而保证涂层的均匀性，同时衬底自身的旋转也有效地增强衬底表面薄膜的均匀性。本发明能够有效保证复杂形状刀具表面金刚石薄膜的均匀性，同时形核速率高，生长速率快，沉积后的金刚石薄膜均匀而且质量良好。

著录项

公开/公告号CN1818131A

专利类型发明专利
公开/公告日2006-08-16

原文格式PDF
申请/专利权人上海交通大学;
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申请/专利号CN200610024508.0
发明设计人王勇;马玉平;孙方宏;陈明;张志明;
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申请日2006-03-09
分类号C23C16/27;C23C16/513;C23C16/52;C23C16/02;
代理机构上海交达专利事务所;
代理人王锡麟
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2023-12-17 17:33:59

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-04-08

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2006-10-11

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-08-16

公开

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1. 在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法 [P] . 中国专利： CN1818131A . 2006-08-16
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