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具有垂直梳状电极结构的致动装置

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本发明公开了具有垂直梳状电极结构的致动装置(actuator)。所述致动装置包括：在第一方向上来回移动的平台(stage)；支撑所述平台的来回移动的支撑单元；和平台驱动单元，包括在所述第一方向上从所述平台的相对侧向外延伸的垂直驱动梳状电极，和设置在基板上、与所述驱动电极交替的垂直固定梳状电极，其中所述固定梳状电极包括比所述驱动梳状电极低的第一固定梳状电极、形成于所述第一固定梳状电极上的绝缘层、和形成于所述绝缘层上比所述驱动梳状电极底表面高的第二固定梳状电极。

著录项

公开/公告号CN1881004A

专利类型发明专利
公开/公告日2006-12-20

原文格式PDF
申请/专利权人三星电子株式会社;
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申请/专利号CN200610005171.9
发明设计人高泳哲;赵镇佑;
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申请日2006-01-13
分类号G02B26/08(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人陶凤波;侯宇
地址韩国京畿道
入库时间 2023-12-17 17:59:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-03-24

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2008-07-16

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-12-20

公开

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