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微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置、检查方法、以及计算机程序

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摘要

本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针(2)与各个电极焊盘(PD)接触，然后经由继电器(30)连接一对探针(2)和烧穿用电源(50)。然后，从烧穿用电源(50)向一对探针(2)中的一个探针(2)施加电压。当逐渐升压时，通过烧穿现象弄破一对探针(2)之间的氧化膜，从而在一对探针(2)之间会有电流流过，探针(2)与电极焊盘(PD)之间电导通。然后，经由继电器(30)将一对探针(2)从烧穿用电源(5)切换到测定部(40)一侧而使其与测定部(40)电结合。

著录项

  • 公开/公告号CN101151540A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-03-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社;

    申请/专利号CN200680010007.5

  • 发明设计人 奥村胜弥;八壁正巳;池内直树;

    申请日2006-03-30

  • 分类号G01R1/073;G01P21/00;G01C9/06;

  • 代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人柳春雷

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-17 20:02:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R1/073 授权公告日:20100721 终止日期:20150330 申请日:20060330

    专利权的终止

  • 2010-07-21

    授权

    授权

  • 2008-05-21

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-03-26

    公开

    公开

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