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将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法

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本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将CIF格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：将圆形近似作为一个正n边形，计算n的值，n为自然数；将所述正n边形切割成矩形和直角三角形的组合；将切割得到的矩形最大限度的合并成一个矩形；将合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形条，将合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形条；对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形。利用本发明，切割方法很简单，容易编程实现，切割后的图形与原图形的误差很小，切割出的矩形数据量少。

著录项

公开/公告号CN101334812A

专利类型发明专利
公开/公告日2008-12-31

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院微电子研究所;
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申请/专利号CN200710118003.5
发明设计人李金儒;赵珉;王琴;刘明;陈宝钦;
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申请日2007-06-27
分类号G06F19/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 21:15:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-07-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G06F19/00 公开日:20081231 申请日:20070627

发明专利申请公布后的视为撤回
2009-02-25

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-12-31

公开

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