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波导管内的驻波测量部及驻波测量方法、电磁波利用装置、等离子体处理装置及等离子体处理方法

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检测对于使电磁波传播的波导管的长度方向的、构成波导管的管壁的至少一部分的导电性部件的温度分布，根据其温度分布，测量波导管内产生的驻波。对于波导管长度方向的导电性部件的温度分布能够由沿着波导管的长度方向排列了多个的温度传感器、沿着波导管的长度方向移动的温度传感器、或红外线照相机正确地测量。由此能够正确地测量作为为了掌握波导管内的管内波长λg等而作为指标的驻波。

著录项

公开/公告号CN101495875A

专利类型发明专利
公开/公告日2009-07-29

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学;
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申请/专利号CN200780028722.6
发明设计人平山昌树;大见忠弘;
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申请日2007-07-18
分类号G01R29/08;C23C16/511;G01R21/04;G01R27/06;H01L21/205;H01L21/3065;H01P1/00;H01P1/30;H01P3/12;H05H1/46;
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址日本东京
入库时间 2023-12-17 22:23:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-11-14

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R29/08 申请公布日:20090729 申请日:20070718

发明专利申请公布后的视为撤回
2009-09-23

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-07-29

公开

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