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提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统及方法

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摘要

一种提高激光薄膜吸收测量空间分辨率的光学系统及方法，光学系统基于表面热透镜原理，由探测光路和泵浦光路组成；泵浦光经透镜聚焦后辐照于样品表面，探测光斑与泵浦光斑重合；样品表面上探测光的光斑相当于或大于泵浦光的光斑；探测光和泵浦光分别被斩波器同频调制且两列调制波的相位可控；样品反射的探测光经过成像透镜后由面阵列CCD相机接收；根据图像锁相原理得到薄膜吸收对应的图像锁相信号。本发明具有灵敏度高，调节简便，测量结果直观，测量的空间分辨率高的特点。

著录项

公开/公告号CN101576483A

专利类型发明专利
公开/公告日2009-11-11

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN200910052375.1
发明设计人陶春先;凌秀兰;贺洪波;赵元安;李大伟;张蕾;
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申请日2009-06-02
分类号G01N21/31(20060101);G01N21/88(20060101);G02F1/35(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2023-12-17 22:57:19

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-04-27

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/31 公开日:20091111 申请日:20090602

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-01-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-11-11

公开

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