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一种减少4H－SiC中本征深能级缺陷的方法

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本发明公开了一种减少4H－SiC中本征深能级缺陷的方法，可用于4H－SiC材料质量的改进和器件的应用。其具体过程是：(1)对4H－SiC衬底进行预处理，并在该4H－SiC衬底正面生长N－外延层；(2)在N－型外延层上淀积一层SiO2，作为碳离子注入的阻挡层；(3)在阻挡层表面上依次进行3次不同能量和剂量的碳离子注入；(4)对三次碳离子注入后的4H－SiC样片进行RCA清洗和烘干，并在氢气和硅烷的高温环境中退火，对注入的碳离子进行激活，完成对4H－SiC材料本征深能级缺陷的处理。实测表明，本发明能有效减少4H－SiC样片中的深能级缺陷，可用于4H－SiC材料质量的改进和器件性能的提升。

著录项

公开/公告号CN101620990A

专利类型发明专利
公开/公告日2010-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人西安电子科技大学;
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申请/专利号CN200910023359.X
发明设计人贾仁需;张玉明;张义门;郭辉;王悦湖;
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申请日2009-07-17
分类号H01L21/02(20060101);C23C14/48(20060101);C23C14/06(20060101);C23C16/44(20060101);C23C16/40(20060101);C23C28/04(20060101);
代理机构61205 陕西电子工业专利中心;
代理人王品华;朱红星
地址 710071 陕西省西安市太白路2号
入库时间 2023-12-17 23:14:27

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-08-24

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 公开日:20100106 申请日:20090717

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-03-03

实质审查的生效

实质审查的生效
2010-01-06

公开

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3. use of factor viia or a factor viia equivalent, parts kit and method to prevent or mitigate one or more late trauma complications, and methods to reduce the number of days a trauma patient is hospitalized after trauma to reduce the number of days a trauma patient spends in an intensive care unit after trauma, to improve lung function in a trauma patient, to reduce the risk of developing acute lung injury and / or acute respiratory distress syndrome in a patient. to reduce the risk of developing disseminated intravascular coagulation in a trauma patient, to reduce the risk of developing systemic inflammatory response syndrome in a trauma patient, to reduce the risk of developing multiple organ failure in a trauma patient , to reduce the risk of death in a trauma patient and to prevent or mitigate one or more late trauma complications. [P] . BRPI0507156A . 2007-06-26

机译：使用因子VIIa或因子VIIa等同物，预防或减轻一种或多种晚期创伤并发症的零件套件和方法，以及减少创伤后住院的创伤患者住院天数的方法，以减少创伤患者所花费的天数在创伤后的重症监护室中，以改善创伤患者的肺功能，降低患者发生急性肺损伤和/或急性呼吸窘迫综合征的风险。降低创伤患者发生弥散性血管内凝血的风险，降低创伤患者发生全身性炎症反应综合征的风险，降低创伤患者发生多器官衰竭的风险，降低死亡风险创伤患者，并预防或减轻一个或多个晚期创伤并发症。
4. compound, pharmaceutical composition; use of the compound for the manufacture of a medicament for treating irritable bowel syndrome, treating pain or painful syndromes, treating urinary incontinence, treating depression, fibromyalgia, anxiety, panic disorder, agorophobia, pre-traumatic stress disorder, pre-dysphoric disorder menstrual disorder, attention deficit disorder, obsessive compulsive disorder, social anxiety disorder, generalized anxiety disorder, autism, schizophrenia, obesity, anorexia nervosa, bulimia nervosa, gilles de la tourette syndrome, vasomotor discharge, cocaine addiction, sexual dysfunction, personality threshold disorder, fibromyalgia syndrome, diabetic neuropathic pain, chronic fatigue syndrome, shy drager syndrome, raynaud syndrome, parkinson's disease, and epilepsy, method of preparing a compound of structure (a), and Method of preparing a compound of structure (b) [P] . BRPI0613031A2 . 2012-01-03

机译：化合物，药物组合物;该化合物在制备用于治疗肠易激综合症，治疗疼痛或疼痛综合症，治疗尿失禁，治疗抑郁症，纤维肌痛，焦虑症，恐慌症，广场恐惧症，创伤前应激障碍，烦躁不安症，月经失调的药物中的用途，注意力缺陷障碍，强迫症，社交焦虑症，广泛性焦虑症，自闭症，精神分裂症，肥胖症，神经性厌食症，神经性贪食症，抽动秽语综合征，血管舒缩放电，可卡因成瘾，性功能障碍，人格阈障碍，纤维肌痛综合征，糖尿病性神经性疼痛，慢性疲劳综合症，害羞药物综合征，雷诺氏综合症，帕金森氏病和癫痫病，结构式（a）的化合物的制备方法和结构式（b）的化合物的制备方法
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