公开/公告号CN101629277A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 比亚迪股份有限公司;
申请/专利号CN200810068554.X
申请日2008-07-18
分类号C23C14/34(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/14(20060101);G02B1/10(20060101);
代理机构44237 深圳中一专利商标事务所;
代理人张全文
地址 518118 广东省深圳市龙岗区坪山镇横坪公路3001号
入库时间 2023-12-17 23:18:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-17
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20100120 申请日:20080718
发明专利申请公布后的驳回
2010-06-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20080718
实质审查的生效
2010-01-20
公开
公开
机译: 用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法设备以及用于在真空镀膜设备中旋转物体的方法和设备的用途
机译: 从真空镀膜设备中插入和移出基板的方法包括用要镀膜的基板替换已经镀膜的基板,同时保持工艺真空和进一步处理
机译: 带有磁性外壳的基板支架,用于真空镀膜设备