公开/公告号CN101958361A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡尚德太阳能电力有限公司;尚德太阳能电力有限公司;
申请/专利号CN200910158977.5
申请日2009-07-13
分类号H01L31/18;
代理机构北京金信立方知识产权代理有限公司;
代理人黄威
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号
入库时间 2023-12-18 01:35:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20110126 申请日:20090713
发明专利申请公布后的驳回
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20090713
实质审查的生效
2011-01-26
公开
公开
机译: 透光薄膜太阳电池组件及其制造方法
机译: 用于等离子增强钒氧化物薄膜刻蚀的刻蚀气体和等离子增强钒氧化物薄膜刻蚀的方法
机译: 刻蚀包含铜层和钛层的多层薄膜的刻蚀解决方案和使用相同的刻蚀方法,以及使用刻蚀方法获得的基板