法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):A23F3/06 申请公布日:20110720 申请日:20101209
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):A23F3/06 申请日:20101209
实质审查的生效
2011-07-20
公开
公开
机译: 沟槽加工工具,沟槽加工方法以及使用该沟槽加工工具的薄膜太阳能电池的沟槽加工设备
机译: 沟槽加工工具,使用该沟槽加工薄膜太阳能电池的沟槽加工方法以及沟槽加工装置
机译: 一种半导体装置的制造方法,该方法可通过去除两个硅化物阻挡层工序之一而应用于双硅化物工序和双应力衬里工序