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表面介质阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法

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摘要

本发明涉及一种表面介质阻挡放电等离子体单元。该单元包括具有其中布置有内部电极的内部空间的固体介电结构。而且，该单元包括用于与内部电极合作地产生表面介质阻挡放电等离子体的另一电极。该单元还具有沿所述结构表面的气体流路。

1. 表面介质阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法 [P] . 中国专利： CN102892248B . 2016.08.10
2. 表面介质阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法 [P] . 中国专利： CN101611656B . 2012.11.21
3. SURFACE DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PLASMA UNIT AND METHOD OF GENERATING SURFACE PLASMA [P] . 日本专利： JP2015092484A . 2015-05-14

机译：表面介电阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法
4. Surface dielectric barrier discharge plasma unit and a method of generating a surface plasma [P] . 美国专利： US9131595B2 . 2015-09-08

机译：表面介电势垒放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法
5. Surface dielectric barrier discharge plasma unit, and a method for generating a surface plasma [P] . 日本专利： JP5654238B2 . 2015-01-14

机译：表面介电势垒放电等离子体单元以及产生表面等离子体的方法