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一种真空闸板阀、质谱分析仪器以及质谱分析换样中建立高真空环境的方法

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摘要

本发明公开了一种用于质谱仪器的真空闸板阀，包括阀座以及阀芯；在所述阀座与阀芯之间设置有一密封环；所述阀芯上设置有挤压机构，用于使阀芯压紧所述密封环；还公开了一种质谱分析仪器，包括离子源腔以及与其相连通的分析室，在所述离子源腔与分析室的连通通道上设置有如前所述的真空闸板阀；以及公开了一种质谱分析换样中建立高真空环境的方法，包括：通过真空闸板阀关闭离子源腔以及分析室的连通通道；打开离子源腔进行换样；换样结束后对离子源腔预抽真空；打开真空闸板阀连通离子源腔和分析室，抽真空。本发明的装置及方法，在实现更换样品后能够快速建立质谱仪检测所需真空，并且密封效果好，换样效率高。

著录项

  • 公开/公告号CN104455506A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-03-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 核工业北京地质研究院;

    申请/专利号CN201410682421.7

  • 发明设计人 范增伟;郭冬发;刘桂方;董晨;谢胜凯;谭靖;

    申请日2014-11-24

  • 分类号F16K3/02(20060101);H01J49/26(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人鲁兵

  • 地址 100029 北京市朝阳区安外小关东里10号院

  • 入库时间 2023-12-18 08:05:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-22

    授权

    授权

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):F16K3/02 申请日:20141124

    实质审查的生效

  • 2015-03-25

    公开

    公开

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