光扫描装置、图象形成装置、以及光扫描装置的振动反射镜部的共振频率的调整方法

技术领域

本发明涉及光扫描装置、具有该光扫描装置的图象形成装置、以及光扫描装置的振动反射镜部的共振频率的调整方法。

背景技术

先前已知有一种共振型的光扫描装置，其包括振动反射镜部、和支持振动反射镜部的扭力杆部。这种光扫描装置中，通过利用压电元件等使振动反射镜部共振，以增大振动反射镜部的摇动角。振动反射镜部的共振频率，是根据围绕振动反射镜部的摇动轴心的惯性力矩、或振动反射镜部的质量等所决定。若此振动反射镜部的共振频率大幅偏离目标频率,会有振动反射镜部的摇动角度低于目标值而无法获得所要求的光扫描特性的问题。因此，对用来调整此振动反射镜部的共振频率的技术，迄今已提出有各种解决方案。

作为一例提出有一种技术方案，该技术通过将由树脂材料构成的液滴涂布在振动反射镜部的一侧面并固化，从而对振动反射镜部的共振频率进行调整。

发明内容

然而，在所述先前的共振频率的调整方法中，当在振动反射镜部的一侧面涂布液滴时，由于液滴的形状以及涂布位置存在偏差，因而有不能精度良好地调整振动反射镜部的共振频率的问题。

本发明是鉴于所述问题点而完成，其目的在于提高振动反射镜部的共振频率的调整精度。

本发明的光扫描装置包括振动反射镜部、扭力杆部和驱动部。振动反射镜部具有反射从光源射出的光的反射面。扭力杆部能摇动地支持该振动反射镜部。驱动部通过使所述振动反射镜部绕该扭力杆部扭转振动，以使由所述反射面反射的光扫描。

并且，在所述振动反射镜部的所述反射面的相反侧面形成有槽部，槽部内填充有固化性树脂。从与所述振动反射镜部的反射面相反的一侧观察，所述槽部以与所述振动反射镜部的摇动轴心交叉的方式延长。

本发明的图象形成装置具备所述光扫描装置。

本发明的共振频率的调整方法是对光扫描装置执行的方法。该光扫描装置构成为使从光源射出的光在振动反射镜部的反射面反射，且通过使所述振动反射镜部振动，而使由所述振动反射镜部的所述反射面反射的光扫描。在所述振动反射镜部的所述反射面的相反侧面形成有槽部，从该相反侧观察，该槽部是与该振动反射镜部的摇动轴心交叉。

并且，所述共振频率的调整方法包括粗调整工序、第一固化工序和第二固化工序。所述粗调整工序是在从与所述振动反射镜部的反射面相反的一侧观察时，通过在所述槽部的隔着所述振动反射镜部的摇动轴心而对称形成的位置上分别以液滴的形态涂布固化性树脂，并以规定的频率使所述振动反射镜部振动，从而利用离心力使形成所述液滴形状的固化性树脂沿所述槽部伸展，将所述振动反射镜部的共振频率调整在预先设定的粗调整范围内的工序。所述粗调整工序包括第一固化工序、微调整工序和第二固化工序。第一固化工序中使沿着所述槽部伸展的树脂固化。微调整工序是在从与所述振动反射镜部的反射面相反的一侧观察时，通过在该振动反射镜部的摇动轴心上的所述槽部的位置上涂布固化性树脂，将所述振动反射镜部的共振频率调整在比所述粗调整范围窄的预先设定的微调整范围内。第二固化工序中使在所述微调整工序中涂布于振动反射镜部的固化性树脂固化。

附图说明

图１是出示具有本实施方式的光扫描装置的图象形成装置的概略剖面图；

图２是出示从正面侧观察的本实施方式的光扫描装置的俯视图；

图３是出示从背面侧观察的本实施方式的光扫描装置的振动体（ＭＥＭＳ）的俯视图；

图４是图２的ＩＶ－ＩＶ线的剖面图；

图５是图２的Ｖ―Ｖ线的剖面图；

图６是出示形成在振动反射镜部的反射面的相反侧面的槽部的俯视图；

图７是出示固化性树脂的液滴因离心力被伸展的状态的示意图，（ａ）是从反射面的相反侧面观察振动反射镜部的图，（ｂ）是从其摇动轴心方向观察振动反射镜部的图；

图８是用来说明作用在液滴上的表面张力的说明图；

图９是用来说明作用在液滴上的粘性力的说明图；

图１０是用来说明作用在液滴上的力矩的平衡的说明图；

图１１是将液滴的涂布位置作为参数来表示液滴能够变形的曲率半径的曲线图；

图１２是出示共振频率的调整方法的流程图；

图１３是出示共振频率的测量方法的示意图；

图１４是出示粗调整工序中的将固化性树脂朝振动反射镜部涂布的涂布方法的示意图；

图１５是出示微调整工序中的将固化性树脂朝振动反射镜部涂布的涂布方法的示意图；

图１６是出示实施方式的变形例１的等同图６的图；

图１７是出示实施方式的变形例２的等同图６的图；

图１８是出示实施方式的变形例３的等同图６的图；和

图１９是出示实施方式的变形例４的等同图６的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式详细进行说明。又，本发明不局限于以下的实施方式。

《实施方式》

图１是出示作为本实施方式的图象形成装置的激光打印机１的概略构成的剖面图。

如图１所示，激光打印机１包括：箱形的打印机主体２、手送供纸部６、盒式供纸部７、图象形成部８、定影部９和排纸部１０。并且，激光打印机１构成为，一边沿打印机主体２内的搬送路径Ｌ搬送纸张，一边基于从未图示的终端设备等传送的图象数据，于纸张上形成图象。

手送供纸部６包括：手送纸盘４，其能够开闭式地设在打印机主体２的一侧部；和手送用供纸辊５，其能够旋转地设在打印机主体２的内部。

盒式供纸部７设在打印机主体２的底部。盒式供纸部７包括：供纸盒１１，其收容互相堆叠的多张纸张；搓纸辊１２，其一张一张地取出供纸盒１１内的纸张；和供纸辊１３以及延迟辊１４，其将取出的纸张一张一张地分离后向搬送路径Ｌ送出。

图象形成部８设在打印机主体２内的盒式供纸部７的上方。图象形成部８包括：硒鼓１６即像担体，其能够旋转地设在打印机主体２内；带电器１７，其配置在硒鼓１６的周围；显影部１８；转印辊１９以及清洁部２０；光扫描装置３０，其配置在硒鼓１６上方；和粉仓２１。由此，图象形成部８能够在从手送供纸部６或盒式供纸部７所供给的纸张上形成图象。

再者，在搬送路径Ｌ上设置有一对配准辊１５，配准辊１５使送出的纸张暂时待机后再以规定的定时提供给图象形成部８。

定影部９配置在图象形成部８的一侧。定影部９具备定影辊２２以及加压辊２３，定影辊２２以及加压辊２３互相压接并旋转。由此，定影部９构成为能够将在图象形成部８转印于纸张上的调色剂图象定影在该纸张上。

排纸部１０设在定影部９的上方。排纸部１０包括：排纸盘３；一对排纸辊２４，其等用以将纸张向排纸盘３搬送；和多个搬送导引凸条部２５，其等将纸张向一对排纸辊２４引导。排纸盘３呈凹状地形成在打印机主体２的上部。

若激光打印机１收到图象数据，便在图象形成部８中旋转驱动硒鼓１６，并由带电器１７使硒鼓１６的表面带电。

然后基于图象数据，从激光扫描单元３０向硒鼓１６出射激光光线。通过将激光光线照射在硒鼓１６的表面而形成静电潜像。形成在硒鼓１６上的静电潜像，通过在显影部１８显影后，作为调色剂图象形成一可视图象。

然后，纸张通过转印辊１９被压抵在硒鼓１６的表面。由此，将硒鼓１６的调色剂图象转印在纸张上。转印有调色剂图象的纸张，在定影部９中通过定影辊２２和加压辊２３被加热以及加压。最终将调色剂图象定影在纸张上。

如图２图５所示，光扫描装置３０包括：出射光的第一光源３１；振动体４０；和收容振动体４０的箱体５０。

整体观察时，箱体５０形成为略长方体形状。俯视下，箱体５０成为纵向（图２的上下方向）的长度比横向（图２的左右方向）长度长的长方形状。箱体５０具有：有底箱体主体部５１，其在高度方向的一侧（图２的纸面前方侧）开放；和盖部５２，其盖闭箱体主体部５１的该开放侧。箱体主体部５１例如由树脂材料构成，盖部５２是由具有透光性的部件、例如玻璃所构成。盖部５２构成为能使从光源３１射入后述的振动反射镜部４１的光、以及被振动反射镜部４１反射的光的双方穿透。

所述振动体４０是所谓ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）装置，通过对硅板进行蚀刻加工而形成。具体而言, 如图３所示，振动体４０包括：振动反射镜部４１；第一以及第二扭力杆部４２、４３；第一以及第二横粱部４４、４５；和略矩形板状的固定框部４６。俯視下，振动反射镜部４１形成为呈略椭圆形状的薄板状。振动反射镜部４１配置在固定框部４６的略中央。振动反射镜部４１的长径方向与箱体横向一致，振动反射镜部４１的短径方向（摇动轴心方向）与箱体纵向一致。振动反射镜部４１的厚度方向的一侧面（朝图２的纸面靠外侧的面)，被作为用来对从光源３１射出的光进行反射的反射面４１ａ。为了提高光的反照率，例如通过铝以及铬在该反射面４１ａ上形成光反射膜。振动反射镜部４１通过绕所述扭力杆部４２、４３扭转振动，从而使从第一光源３１射入反射面４１ａ的光的反射方向变化，使光在规定方向上往返扫描。

所述第一以及第二扭力杆部４２、４３形成为在箱体纵向较长的板状。俯視时，两扭力杆部４２、４３配置在振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ上（短轴的延长线上）。第一扭力杆部４２的一端部连结在振动反射镜部４１的长径方向的中央部，另一端部连结在第一横粱部４４的长边方向的中央部。第二扭力杆部４３的一端部连结在振动反射镜部４１的长径方向的中央部，另一端部连结在第二横粱部４５的长边方向的中央部。由此，两扭力杆部４２、４３能够绕摇动轴心Ａ摇动（振动）地支持振动反射镜部４１。

第一横粱部以及第二横粱部４４、４５互相隔开间隔配置在箱体的纵向。振动反射镜部４１配置在两横粱部４４、４５之间。第一横粱部４４的两端部以及第二横粱部４５的两端部连结在固定框部４６上。固定框部４６具有延伸于箱体纵向的一对纵边部４６ａ、和延伸于箱体横向的一对横边部４６ｂ。所述第一以及第二横粱部４４、４５分别横跨配置在固定框部４６的两纵边部４６ａ之间。在第一横粱部４４以及第二横粱部４５上分别各安装有２个压电元件４７（参照图２以及图４）作为驱动部。各压电元件４７电连接在未图示的驱动电路上。并且，通过以规定的频率使从该驱动电路施加于各压电元件４７的施加电压变动，以使压电元件４７伸缩振动。压电元件４７的振动频率被设定为与振动反射镜部４１的共振频率一致。此共振频率例如根据振动反射镜部４１的惯性力矩、振动反射镜部４１的质量、以及扭力杆部４２、４３的弹簧常数等各种各样的主要因素而变化。若压电元件４７以所述共振频率振动，振动反射镜部４１发生共振而饶两扭力杆部４２、４３扭转振动。

所述固定框部４６是由形成在箱体主体部５１内的一对底座部５３（参照图５）所支持。一对底座部５３是由形成在箱体主体部５１的底壁部５４的箱体横向的两端部的台阶部所构成。这一对底座部５３形成在箱体主体部５１的整个纵向全长上。所述固定框部４６横跨配置在一对底座部５３之间。

如图６所示，在所述振动反射镜部４１的上所述反射面４１ａ的相反侧面４１ｂ形成有槽部７０，槽部７０沿与述振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ正交的方向延长。本实施方式中，从与振动反射镜部４１的反射面４１ａ侧相反的一侧观察，槽部７０成为矩形形状。槽部７０的摇动轴心Ａ方向的宽度，与距该摇动轴心Ａ方向的距离无关而为一定。槽部７０是在对振动反射镜部４１的共振频率进行调整时，作为用来填充固化性树脂６０的填充槽使用。

以下，对振动反射镜部４１的共振频率的调整方法进行说明。共振频率的调整方法包括：粗调整工序，用来将共振频率收纳在粗调整范围内；和微调整工序，用来将共振频率收纳在微调整范围内。

在粗调整工序中，将固化性树脂（本实施方式中为光固化性树脂）６０以液滴的形态涂布在振动反射镜部４１的槽部７０的从摇动轴心Ａ分离的位置上。然后通过以规定的频率使振动反射镜部４１振动，利用离心力使固化性树脂６０的液滴沿着槽部７０伸展。在微调整工序中，将固化性树脂６０以液滴的形态涂布在振动反射镜部４１的槽部７０上的摇动轴心Ａ上的的位置。粗调整工序以及微调整工序的详细内容，留待后述。

另外，有因在粗调整工序中被涂布在振动反射镜部４１上的液滴的半径以及涂布位置，而不能对液滴作用足够的离心力，从而无法使液滴伸展的情况。因此，可对用来通过离心力使涂布在振动反射镜部４１的固化性树脂６０的液滴伸展的条件进行思考。

如图７所示，若在从振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ分离的位置上以液滴的形态涂布固化性树脂６０，则对液滴作用有离心力Ｆ_ｃｅｎｔ、粘性力Ｆ_ｖｉｓ以及表面张力γ_Ｌ／Ｓ。离心力Ｆ_ｃｅｎｔ是通过反射镜部４１的旋转运动，以摇动轴心Ａ为中心向径向外侧的力，其由下式（１）所提供。另外，ｙ是以摇动轴心Ａ作为原点与摇动轴心Ａ正交的方向的坐标位置。

（算式１）

其中，为了方便，若假设涂布在振动反射镜部４１的反射面４１ａ的液滴的初期形状为半球形状，液滴的质量ｍ_ｂｏｎｄ是由下式（２）所提供。

（算式２）

若将

解开，则为

其中，ρ是固化性树脂６０的密度（＝ｇ／ｃｍ^３），ｙ_０是液滴的中心位置，ν是振动反射镜部４１的频率。

所述表面张力是作用以使物体的表面能量成为最小能量的力。若液滴涂布在振动反射镜部４１的反射面４１ａ，如图８所示，作用于液滴表面的力达成平衡。此时, 液滴的表面张力关系，如下式（３）。

（算式３）

其中，γ_Ｓ是固体表面的表面张力，γ_Ｌ是液滴表面的表面张力，γ_Ｌ／Ｓ是固体与液滴的界面张力。例如，铝的表面张力是２０ｍＮ／ｍ，硅的表面张力是２４ｍＮ／ｍ，水是７３ｍＮ／ｍ，有机溶剂是２０ｍＮ／ｍ。因此接触角θ不足９０°，可说液滴和涂布有该液滴的物体（固体）具有湿润性。在有湿润性的情况下，液滴与涂布有该液滴的物体的接触面的表面能量最少而自发性地扩散。

所述粘性力是从物体作用在液滴上而欲使液滴静止的力。在液滴与物体的接触面上，由于粘性力和离心力达成平衡，因而液滴不会有速度。因此，假若液滴受到离心力而欲从摇动轴心Ａ分离，则液滴的上部想要移动，相反在液滴的下部（固体与液滴的界面）却与该离心力成比例作用欲静止的力。结果在如图９中以虚线包围的部分上，作用以液滴的下端部作为支点的力矩，由此产生使液滴的形状变形的力矩。其中，作用在液滴的下面的粘性力Ｆ_ｖｉｓ，一般由下式（４）所提供。

（算式４）

其中，η是固化性树脂６０的粘度，ｈ是液滴和固体的接触面的高度，v是液滴和固体的接触部上的速度。此时，液滴的上面发生变形而向离心力所作用的方向倾倒。

参照图１０，液滴的Ａ点所静止的条件是在液滴的Ｂ点附近使通过离心力产生的力矩与通过表面张力产生的力矩达成平衡。这种情况下满足下式（５）的关系。

（算式５）

其中，r'是液滴与固体接触中的Ａ点上的曲率半径。

经整理算式５得到下式（６）。

（算式６）

根据此关系可知，若液滴的曲率半径（亦即，液滴的高度）为规定值以上，液滴因离心力发生变形而向外侧伸展。例如，若γ_Ｌ＝２０ｍＮ／ｍ，θ＝９０dｅｇ，ν＝２０００Ｈｚ，ρ＝１ｇ／ｃｍ^３，y＝０.１ｍｍ，则r'成为２４６μｍ。这表示在半径为０.１ｍｍ的液滴的情况下，由于液滴的高度发生变形的液滴的曲率半径为１７４μｍ以下，因而涂布在摇动轴心Ａ的液滴的形状不变化。

图１１是以液滴的涂布位置作为参数将液滴通过离心力所能够变形的曲率半径（液滴的高度）制成曲线而成的曲线图。曲线图的横轴表示从摇动轴心Ａ至液滴的涂布位置的距离，曲线图的纵轴表示液滴能够变形的曲率半径。根据此曲线图可知,例如在液滴的半径为０.１ｍｍ的情况下，通过使液滴从摇动轴心Ａ离开０.４ｍｍ以上，从而使液滴发生变形（向离心力的作用方向倾倒）。根据此情况，可称通过对液滴的涂布位置以及涂布量进行控制，即可利用离心力使液滴伸展并分布在槽部７０内。以上对用来在粗调整工序中利用离心力使液滴伸展的条件进行了说明。

其次，参照图１２的流程图，对振动反射镜部４１的共振频率的调整方法详细进行说明。另外，以下的步骤Ｓ１Ｓ３相当于所述粗调整工序，步骤Ｓ５以及Ｓ６相当于所述微调整工序。

步骤Ｓ１中，以规定频率驱动振动反射镜部４１（ＭＥＭＳ即振动体４０）。

步骤Ｓ２中，首先测量振动反射镜部４１的共振频率。在测量共振频率时, 如图１３所示对振动反射镜部４１的反射面４１照射光，并检测反射光。然后基于此入射光与反射光所夹的角度，检测振动反射镜部４１的摇动角度（摇动振幅），并基于检测出的摇动角度取得振动反射镜部４１的共振频率。并对所取得的（测量的）共振频率是否落在粗调整范围（ω±ｄω１，其中ω是目标频率）的范围外进行判断，在这一判断为否的情况下进入步骤Ｓ４，相反在是的情况下进入步骤Ｓ３。

步骤Ｓ３中，从与振动反射镜部４１的反射面４１ａ相反的一侧观察，在隔着槽部７０上的摇动轴心Ａ而对称形成的位置上分别以液滴的形态涂布固化性树脂６０。在涂布固化性树脂６０时，预先于杆状治具５５的前端保持固化性树脂６０，且在此状态下使治具５５的前端靠近振动反射镜部４１的反射面４１ａ，使固化性树脂６０移动于反射面４１ａ上（参照图１４）。固化性树脂６０的液滴的涂布位置以及半径，可根据图１１来确定。另外，若液滴的半径过小，当将治具５５朝振动反射镜部４１靠近时，治具５５和振动反射镜部４１会发生干涉，所以还需要将振动反射镜部４１的振幅考虑在内来确定液滴的半径。由此，重复地进行步骤Ｓ２和步骤Ｓ３重复地进行步骤Ｓ２和步骤Ｓ３直到在步骤Ｓ２所测量的振动反射镜部４１的共振频率落到所规定的粗调整范围内止。其中，本实施方式中，在使振动反射镜部４１振动的状态下，将固化性树脂６０（粘合剂）涂布在振动反射镜部４１上，并监视振动反射镜部４１的摇动角度，因而比例如在使振动反射镜部４１静止的状态下对振动反射镜部５１涂布固化性树脂６０，然后使振动反射镜部４１振动，对振动反射镜部４１的共振频率进行测量的构成，可于短时间内调整振动反射镜部４１的共振频率。

在步骤Ｓ２的判定为否的情况下进入的步骤Ｓ４中，停止振动反射镜部４１的驱动，结束粗调整工序（步骤Ｓ１Ｓ３）。然后，利用光使涂布在振动反射镜部４１的反射面４１ａ上的固化性树脂６０固化。

步骤Ｓ５中，通过与步骤Ｓ２类似的测量方法，对振动反射镜部４１的共振频率进行测量。然后，判断测量的共振频率是否在比所述粗调整范围窄的微调整范围（ω±ｄω２，其中ｄω２＜ｄω１，ω是目标频率)的范围外，在这一判定为否的情况下进入步骤Ｓ７，相反在是的情况下进入步骤Ｓ６。

步骤Ｓ６中，从与振动反射镜部４１的反射面４１ａ侧相反的一侧观察,在该振动反射镜部４１的轴心上的槽部７０的位置，以液滴的形态涂布固化性树脂６０（参照图１５）。

在步骤Ｓ５的判定为否的情况下进入的步骤Ｓ７中，停止振动反射镜部４１的驱动，结束微调整工序（步骤Ｓ５以及Ｓ６）。利用光使在步骤Ｓ６所涂布的固化性树脂６０固化，然后再返回。

如以上说明，所述实施方式中，在振动反射镜部４１的反射面４１ａ的相反侧面４１ｂ形成有槽部７０，且从与振动反射镜部４１的反射面４１ａ侧相反的一侧观察，该槽部７０形成为与该振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ正交(交叉)。因此，在调整振动反射镜部４１的共振频率时,通过以液滴的形态与振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ分离地将固化性树脂６０配置在所述槽部７０上，能够利用振动反射镜部４１的摇动时的离心力使液滴沿着槽部７０伸展。由此，即使液滴的形状以及涂布位置存在偏差，通过使液滴沿槽部７０伸展，从而能够吸收该偏差，进而提高共振频率的调整精度。

另外，所述实施方式中，调整振动反射镜部４１的共振频率的工序，包括粗调整工序以及微调整工序。粗调整工序中，从与振动反射镜部４１的反射面４１ａ侧相反的一侧观察，通过在隔着所述槽部７０的振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ而对称形成的位置上分别以液滴的形态涂布固化性树脂６０（参照图１４），并以规定的频率使所述振动反射镜部４１振动，利用离心力使形成所述液滴形状的固化性树脂６０沿槽部７０伸展，将振动反射镜部４１的共振频率调整在预先设定的粗调整范围内。因此，即使在粗调整工序中涂布于振动反射镜部４１的固化性树脂的形状以及位置存在有偏差，通过使固化性树脂伸展以吸收此偏差，仍能以高精度调整共振频率。另一方面，微调整工序中，通过在振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ上的槽部７０的位置上涂布固化性树脂６０，以使振动反射镜部４１的惯性力矩不太多增加而使质量略微增加。因此，能够对振动反射镜部４１的共振频率进行微调而使该共振频率极力靠近目标频率ω（或者达成一致）。由此，通过将振动反射镜部４１的共振频率的调整工序分为粗调整工序以及微调整工序，能够防止共振频率一口气超过目标频率ω的情况。

另外，所述实施方式中，固化性树脂是由光固化性树脂构成，因而能够在短时间内使固化性树脂固化。进而，能够缩短共振频率的调整所需要的时间。

《变形例１》

图１６出示实施方式的变形例１。本变形例中，槽部７０的形状与所述实施方式不同。再者，以下的变形例中，对与图６相同的构成部分，给予相同的符号并省略详细的说明。

亦即，本变形例１中，振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ方向上的所述槽部７０的宽度，随离该摇动轴心Ａ的距离越大而越宽。根据此种构成，能够提高根据固化性树脂６０而得的反射镜部４１的调整灵敏度。因而能特别容易进行粗调整工序中的共振频率的调整。

而且，槽部７０相对于摇动轴心Ａ线对称地形成。因此，通过形成槽部７０，能够防止振动反射镜部４１的振幅发生偏差。

《变形例２》

图１７出示实施方式的变形例２。本变形例中，槽部７０的形状与所述实施方式不同。

亦即，本变形例２中，振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ方向上的所述槽部７０的宽度，随离该摇动轴心Ａ的距离越大而越窄。根据此种构成，能够降低根据固化性树脂６０而得的振动反射镜部４１的调整灵敏度。因此，特别是在粗调整工序中，通过使振动反射镜部４１的调整灵敏度过高，能够防止共振频率一口气超过目标频率ω的情况。

而且，槽部７０相对于摇动轴心Ａ线对称地形成。因此，通过形成槽部７０，能够防止振动反射镜部４１的振幅发生偏差。

《变形例３》

图１８出示实施方式的变形例３。在本变形例，槽部７０的形状与所述实施方式不同。

亦即，本变形例３中，槽部７０具有沿与该摇动轴心Ａ正交的方向延长的横槽部７０ａ、和沿振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ方向延长的纵槽部７０ｂ。由此，整体上观察,槽部７０成为十字状。

根据此种构成，在微调整工序中，能够在槽部７０的位于摇动轴心Ａ上的部分充分涂布固化性树脂６０。因此，能够充分确保微调整工序中的共振频率的调整量。

《变形例４》

图１９出示实施方式的变形例４。本变形例中，形成槽部７０的部位与所述实施方式不同。

亦即，本变形例中，在振动反射镜部４１的反射面４１ａ的相反侧面４１ｂ形成有凸条部７１，所述槽部７０形成在凸条部７１上。详细而言，凸条部７１构成为向与摇动轴心Ａ正交的方向延长的长方体形状，所述槽部７１形成在凸条部７１上的与所述反射面４１ａ平行的面上。槽部７０以及凸条部７１相对于振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ线对称地形成。

根据此种构成，不用降低振动反射镜部４１的强度，能够在振动反射镜部４１形成槽部７０。

《其他实施方式》

本发明还可针对所述实施方式形成如下的构成。

所述实施方式以及变形例中，由光固化性树脂构成固化性树脂，但不局限于此，例如也能够由热固化性树脂构成。

所述实施方式以及变形例中，在振动反射镜部４１仅仅形成一个槽部７０，但不局限于此，也能够形成多个槽部７０。

所述实施方式中，在微调整工序中也以液滴的形态涂布固化性树脂，但不局限于此，在微调整工序中没有必要一定要以液滴的形态涂布固化性树脂。

所述实施方式中，槽部７０向与振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ正交的方向延长，但不必一定为正交。亦即，槽部８０只要向相对于振动反射镜部４１的摇动轴心Ａ交叉的方向延长即可。

本发明包括将所述实施方式以及所述各变形例任意组合而成的构成。

如以上说明，本发明对光扫描装置、具有该光扫描装置的图象形成装置、以及光扫描装置的振动反射镜部的共振频率的调整方法有益，特别有助于应用在激光打印机，复印机，扫描器装置以及复合机等的情况。