法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N21/89 申请公布日:20150527 申请日:20140424
发明专利申请公布后的驳回
2015-06-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/89 申请日:20140424
实质审查的生效
2015-05-27
公开
公开
机译: 玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法和玻璃基板缺陷检查系统
机译: 玻璃基板缺陷的检查方法,装置以及玻璃基板的缺陷检查系统
机译: 半透明材料制成的半透明物品的检查方法,玻璃基板的缺陷,玻璃基板的坯料的缺陷的检查方法及装置,制造方法,制造方法,制造方法,制造方法,制造方法,制造方法半导体器件