公开/公告号CN105390621A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 环球展览公司;
申请/专利号CN201510511427.2
发明设计人 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉;威廉·E·奎因;
申请日2015-08-19
分类号H01L51/52(20060101);C23C16/30(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王璐
地址 美国新泽西州
入库时间 2023-12-18 14:50:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/52 申请日:20150819
实质审查的生效
2016-03-09
公开
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