公开/公告号CN106030282A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201480039781.3
发明设计人 李列泉;利奥尼德·波斯拉夫斯基;
申请日2014-06-03
分类号G01N21/00;G01N21/25;G01N21/47;G01B11/00;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 00:42:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/00 申请日:20140603
实质审查的生效
2016-10-12
公开
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机译: 光学计量的自动波长或角度修剪
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