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膜厚监视装置用传感器、具备该膜厚监视装置用传感器的膜厚监视装置以及膜厚监视装置用传感器的制造方法

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本发明提供能够通过简单的结构而提高膜厚的测量精度、实现高精度的成膜率的膜厚监视装置用传感器以及使用该膜厚监视装置用传感器的膜厚监视装置。该膜厚监视装置用传感器具备：SC－Cut水晶振子，具有绕作为水晶结晶轴的正交坐标系X轴、Y轴、Z轴中的Z轴旋转θ、绕X轴旋转

著录项

公开/公告号CN106104251A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社爱发科;
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申请/专利号CN201680000656.0
发明设计人伊藤敦;
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申请日2016-03-03
分类号G01N5/02;C23C14/54;G01B21/08;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人刘杨
地址日本神奈川
入库时间 2023-06-19 00:48:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-04-23

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N5/02 申请公布日:20161109 申请日:20160303

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-12-07

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N5/02 申请日:20160303

实质审查的生效
2016-11-09

公开

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