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一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法

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该发明公开了一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法，属于声表面波传感器的设计领域。该装置包括：两个声表面波谐振器，所述的两个声表面波谐振器沿待测件的主应变方向设置于待测件上，且两个声表面波谐振器的声表面波传播方向与待测件的主应变方向相同，所述声表面波谐振器包括压电基底和设置于压电基底上的电极；其特征在于所述两个声表面波谐振器压电基底材料的切向不同，并在其中一个声表面波谐振器的压电基底上设置一层覆盖电极且使两个声表面波谐振器的转变温度相同的薄膜。该装置利用两个器件温度参数相同，应变参数不同的特性，抵消掉温度参数对声表面波器件的影响，最终实现对应变的测量。

著录项

公开/公告号CN106895803A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-27

原文格式PDF
申请/专利权人电子科技大学;
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申请/专利号CN201710089576.3
发明设计人彭斌;崔亦霖;张万里;喻恒;邓泽佳;刘兴钊;
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申请日2017-02-20
分类号G01B17/04;
代理机构电子科技大学专利中心;
代理人张杨
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
入库时间 2023-06-19 02:38:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-08

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B17/04 申请公布日:20170627 申请日:20170220

发明专利申请公布后的驳回
2017-07-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B17/04 申请日:20170220

实质审查的生效
2017-06-27

公开

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