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公开/公告号CN108022826A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;
申请/专利号CN201610930091.8
发明设计人 张艳锋;周协波;洪敏;史建平;张哲朋;
申请日2016-10-31
分类号H01L21/02(20060101);C23C16/26(20060101);C23C16/30(20060101);
代理机构11472 北京方安思达知识产权代理有限公司;
代理人王宇杨;李彪
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2023-06-19 05:21:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20161031
实质审查的生效
2018-05-11
公开
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