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一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法

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本发明公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法，所述光学压力传感器主要构成为：刻蚀有脊形波导阵列的基底，在其表面溅射一层金属膜，外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap‑SPP。压力使基底发生形变，进而使阵列之间gap的大小改变，进而引起SPP波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器，本发明对光纤距离敏感膜的距离不敏感，因此可以减少温度的影响，同时易于加工制造。

著录项

公开/公告号CN108195494A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-22

原文格式PDF
申请/专利权人南京信息工程大学;
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申请/专利号CN201810204154.0
发明设计人倪海彬;周盈;常建华;王婷婷;葛益娴;刘清惓;倪波;刘向;
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申请日2018-03-13
分类号G01L1/24(20060101);G01L11/02(20060101);
代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);
代理人秦秋星
地址 210044 江苏省南京市宁六路219号
入库时间 2023-06-19 05:39:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-07-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/24 申请日:20180313

实质审查的生效
2018-06-22

公开

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