首页> 中国专利> 一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法

一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法

摘要

本发明公开了一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法,其特征在于:包括如下步骤;配制超纯水作为吸收液;将经浓硫酸吸收、含有沸石的浓硫酸吸收、浓硫酸吸收、浓硫酸吸收净化后的SiF

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/31 申请日:20180105

    实质审查的生效

  • 2018-06-22

    公开

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