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一种用于测量液体粘度的MEMS芯片及其测量方法

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摘要

本发明提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。本发明的MEMS芯片结构更加简单，生产成本更低，生产效率更高，并且可广泛应用于医疗卫生、石油、化工、冶金、国防等技术领域。另外，采用本发明的MEMS芯片测量液体粘度的测量方法，检测精度更高，与IC兼容性更高，更适合个人化与家庭化的使用。

著录项

  • 公开/公告号CN108328563A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州原位芯片科技有限责任公司;

    申请/专利号CN201810256851.0

  • 发明设计人 王新亮;马硕;温赛赛;胡慧珊;

    申请日2018-03-27

  • 分类号

  • 代理机构南京经纬专利商标代理有限公司;

  • 代理人李明

  • 地址 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路150号B516

  • 入库时间 2023-06-19 06:00:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20180327

    实质审查的生效

  • 2018-07-27

    公开

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