公开/公告号CN108428642A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201710080649.2
申请日2017-02-15
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
入库时间 2023-06-19 06:16:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20170215
实质审查的生效
2018-08-21
公开
公开
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