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单轴双光束发射装置及三轴双光束平行光调整系统、方法

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摘要

本发明公开了一种单轴双光束发射装置及三轴双光束平行光调整系统、方法，属于光路平行关系检测及调整技术领域。本装置包括三轴双光束发射组件、三平面测试组件、信息采集模块和测试PC机；所述三平面测试组件的三个平面上均安装有PSD传感器阵列，所述三轴双光束发射组件位于三平面测试组件的一侧，三轴双光束发射组件发射的激光光束分别入射至每一个PSD传感器阵列上；所述的PSD传感器阵列通过信息采集模块与测试PC机连接。克服了传统的光束平行调整装置采用平行光管的局限性，能够进行三轴(X轴，Y轴，Z轴)双光束，共6路光的平行度测量，测量调整完毕后可以实现三轴双光束轴内平行，轴间正交。

著录项

  • 公开/公告号CN111811487A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;北京电子工程总体研究所;

    申请/专利号CN202010640646.1

  • 发明设计人 张登伟;张智航;管宁;周一览;陈侃;

    申请日2020-07-06

  • 分类号G01C15/00(20060101);G01H9/00(20060101);G02B27/62(20060101);

  • 代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;

  • 代理人郑海峰

  • 地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

  • 入库时间 2023-06-19 08:38:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-09

    授权

    发明专利权授予

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