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将护膜置于光掩模上的设备与将护膜置于光掩模上的方法

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摘要

本发明实施例涉及将护膜置于光掩模上的设备与将护膜置于光掩模上的方法。本发明实施例提供一种将护膜置于光掩模上的设备，其包含：盖，其具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，其中所述第二侧经设置以面对所述光掩模；及气垫，其放置于所述第一侧与所述第二侧之间，其中所述气垫包括经填充有空气的气室。

1. 将护膜置于光掩模上的设备与将护膜置于光掩模上的方法 [P] . 中国专利： CN111856873A . 2020-10-30
2. 具有护膜的装置、从光掩模移除护膜及使用护膜的方法 [P] . 中国专利： CN109581806A . 2019-04-05
3. Holder for receiving one side of photo mask with photo mask or pellicle to protect from cleaning medium, method for cleaning photo mask with photo mask or pellicle, and apparatus for opening and closing holder [P] . 韩国专利： KR20190094371A . 2019-08-13

机译：用于容纳带有光掩模或防护膜的光掩模的一侧以防止清洁介质的保持器，具有光掩模或防护膜的光掩模的清洁方法以及用于打开和关闭保持器的设备
4. HOLDER FOR PLACING AND PROTECTING THE SIDE OF THE PHOTOMASK OR PHOTOMASK WITH A MEMBRANE RELATIVE TO THE CLEANING MEDIUM, A METHOD FOR CLEANING THE PHOTOMASK OR PHOTOMASK WITH A MEMBRANE AND A DEVICE FOR OPENING AND CLOSING [P] . RU2746714C2 . 2021-04-19

机译：用于将光掩模或光掩模的侧面放置和保护具有相对于清洁介质的膜的持有者，一种用于用膜清洁光掩模或光掩模的方法和用于打开和关闭的装置
5. Photo mask and method to form a self-assembled monolayer and an inorganic ultra thin film on the photo mask [P] . 美国专利： US2006257751A1 . 2006-11-16

机译：光掩模和在光掩模上形成自组装单层膜和无机超薄膜的方法