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一种热释电红外探测器的制备方法及热释电红外探测器

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摘要

本申请提供一种热释电红外探测器的制备方法，包括：提供热释电衬底和支撑衬底；对热释电衬底进行第一预处理，在热释电衬底内构造损伤层，在热释电衬底表面形成第一电极；对支撑衬底进行第二预处理，在支撑衬底上形成锚点；将热释电衬底和支撑衬底进行键合，形成第一电极分别位于对应的锚点内的键合整体；将热释电衬底自损伤层处剥离，保留位于支撑衬底上的热释电薄膜；在热释电薄膜上沉积第二金属层并图形化处理形成第二电极；对形成有第二电极的键合整体进行封装处理，得到热释电红外探测器；本申请提供的制备方法简单，无需增加临时键合过渡层等材料；且热释电衬底与支撑衬底之间键合连接稳固；并且还能够提高热释电红外探测器的响应率。

著录项

  • 公开/公告号CN111864046A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

    申请/专利号CN202010603835.1

  • 发明设计人 欧欣;李忠旭;黄凯;赵晓蒙;李文琴;鄢有泉;陈阳;

    申请日2020-06-29

  • 分类号H01L37/02(20060101);H01L21/683(20060101);H01L23/544(20060101);G01J5/12(20060101);

  • 代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;

  • 代理人郝传鑫;贾允

  • 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号

  • 入库时间 2023-06-19 08:44:14

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