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复制设备的框架、复制设备和用复制设备生产部件的方法

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一种用于生产纳米结构化和/或微米结构化的部件的复制设备(10)的框架(20)形成了万向悬架。此外，提供了一种包括这种框架(20)的复制设备(10)。另外，描述了一种借助于复制设备(10)利用压印光刻来生产纳米结构化和/或微米结构化部件的方法。

著录项

公开/公告号CN111880370A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03

原文格式PDF
申请/专利权人苏斯微技术光刻有限公司;
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申请/专利号CN202010372722.5
发明设计人拉乌尔·基纳;威尔弗里德·诺埃尔;安德烈亚斯·纳吉;
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申请日2020-05-06
分类号G03F7/00(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人王瑞朋;胡彬
地址德国加兴
入库时间 2023-06-19 08:47:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-10-18

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2020103727225 申请公布日:20201103

发明专利申请公布后的视为撤回

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1. 复制设备的框架、复制设备和用复制设备生产部件的方法 [P] . 中国专利： CN111880370A . 2020-11-03
2. 便于转录的光盘、光盘记录设备和光盘记录方法、存储便于转录的光盘记录程序的存储介质、光盘复制设备、和光盘复制方法 [P] . 中国专利： CN1252154A . 2000-05-03
3. Framework for a replication device, replication device as well as method for producing nanostructured and/or microstructured components by means of a replication device [P] . 美国专利： US2020348588A1 . 2020-11-05

机译：复制设备的框架，复制设备以及通过复制设备生产纳米结构和/或微结构组件的方法
4. Improvements in or relating to methods of duplicating magnetic recordings, the elongated magnetic record members resulting from said method and apparatus for duplicating magnetic recordings from a master tape [P] . 英国专利： GB666653A . 1952-02-13

机译：改进或涉及复制磁记录的方法，由所述方法和设备产生的细长磁记录部件用于从母带复制磁记录
5. förfarande och anordning for reproduktion av filmer i flera färger a ljuskänsliga hinnor till filmer med reliefraster och for upphävande av vid reproduktion av sådana filmer uppstående interferensband [P] . FI14038A . 1931-12-11

机译：的方法和设备，用于将几种颜色的光敏膜胶片复制为带有凸版框架的胶片，并消除因复制此类胶片而产生的干涉带

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