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石英晶体谐振器的电极制备方法、谐振器及振荡器

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摘要

本发明适用于压电晶体元件设计技术领域，提供了一种石英晶体谐振器的电极制备方法、谐振器及振荡器，该方法包括：建立石英晶体谐振器的压电耦合有限元模型；对压电耦合有限元模型进行模态分析，获得对应的B模法向电荷密度分布区域和C模法向电荷密度分布区域；根据B模法向电荷密度分布区域和C模法向电荷密度分布区域，确定石英晶体谐振器中电极对应的C模占优区域；根据C模占优区域制备所述石英晶体谐振器的电极。本发明可以降低石英晶体谐振器的B模压电耦合效率，进而使石英晶体谐振器可以稳定的振荡在C模式下，有利于恒温晶体振荡器的小型化与集成化。

著录项

公开/公告号CN112117980A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-22

原文格式PDF
申请/专利权人河北博威集成电路有限公司;
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申请/专利号CN202011007641.1
发明设计人李鹏;郭跃伟;段磊;崔健;
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申请日2020-09-23
分类号H03H3/02(20060101);H03H9/13(20060101);H03H9/19(20060101);
代理机构13120 石家庄国为知识产权事务所;
代理人付晓娣
地址 050051 河北省石家庄市鹿泉区开发区昌盛大街
入库时间 2023-06-19 09:16:49

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