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元素分析装置以及元素分析方法

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本发明提供一种元素分析装置以及元素分析方法，能够以高精度对试样气体所含的H元素进行定量分析。元素分析装置具备：加热炉，一边导入载气一边对放入有试样的坩埚进行加热，使该试样的至少一部分气化而生成包含H元素的试样气体，将该试样气体作为与该载气的混合气体而导出；以及质谱仪，对从所述加热炉导出的所述混合气体中的所述试样气体所含的至少一个元素进行定量分析，所述质谱仪将在所述混合气体中作为H2O成分而包含的H元素作为所述试样气体所含的H元素进行定量分析。

著录项

公开/公告号CN112166321A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社堀场制作所;株式会社堀场STEC;
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申请/专利号CN201980035002.5
发明设计人井上贵仁;内原博;笹井浩平;池山俊広;关博之;
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申请日2019-05-21
分类号G01N31/00(20060101);G01N27/62(20060101);
代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人崔迎宾;李雪春
地址日本京都府
入库时间 2023-06-19 09:23:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-06-23

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N31/00 专利申请号:2019800350025 申请公布日:20210101

发明专利申请公布后的视为撤回

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