公开/公告号CN112663135A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院福建物质结构研究所;
申请/专利号CN202011377984.7
申请日2020-11-30
分类号C30B23/00(20060101);C30B29/46(20060101);
代理机构11540 北京元周律知识产权代理有限公司;
代理人杨晓云
地址 350002 福建省福州市鼓楼区杨桥西路155号
入库时间 2023-06-19 10:38:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-09-08
授权
发明专利权授予
机译: 用于同时生长多个SiC单晶的物理气相传输生长系统和生长方法
机译: 同时生长一种以上SiC单晶的物理气相传输生长系统及其生长方法
机译: 同时生长多个sic单晶的物理气相传输生长系统和生长方法