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气体传输设备的检测方法、检测装置与气体传输设备

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摘要

本公开提供一种气体传输设备的检测方法、检测装置与气体传输设备。检测方法包括：控制机台流量控制装置的进气口连接第一进气管道，并控制所述进气口的进气阀门开启以及所述机台流量控制装置的输气阀门关闭；控制所述机台流量控制装置的抽气阀门开启，在第一气体经过所述机台流量控制装置中的质量流量控制器的流量达到预设目标值后，控制所述抽气阀门关闭；获取所述第一气体在第一预设时长内经过所述质量流量控制器的第一流量最小值；根据所述第一流量最小值确定所述机台流量控制装置的阀门泄漏检测结果、进气管道堵塞检测结果、质量流量控制器安装方向检测结果。本公开实施例可以通过一次检测得到气体传输设备的三种检测结果。

著录项

  • 公开/公告号CN112899663A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN202110055353.1

  • 发明设计人 顾瑶;

    申请日2021-01-15

  • 分类号C23C16/52(20060101);C23C16/455(20060101);G01M3/28(20060101);

  • 代理机构11438 北京律智知识产权代理有限公司;

  • 代理人孙宝海;袁礼君

  • 地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

  • 入库时间 2023-06-19 11:16:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-02

    授权

    发明专利权授予

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