公开/公告号CN113088877A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
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申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司;
申请/专利号CN202110378383.6
发明设计人 晏利瑞;
申请日2021-04-08
分类号C23C14/04(20060101);C23C16/04(20060101);B23K31/02(20060101);
代理机构11372 北京聿宏知识产权代理有限公司;
代理人吴大建;陈敏
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2023-06-19 11:47:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-10-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/04 专利申请号:2021103783836 申请公布日:20210709
发明专利申请公布后的驳回
机译: 掩膜版划分方法,掩膜版划分装置和掩膜版划分程序
机译: 掩膜版的形成方法和掩膜版
机译: 照像机掩膜版一样通过图像的激光束原位印刷原版印刷版