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一种Nb-Si基合金抗氧化成分快速筛选的高通量方法

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本发明公开了一种Nb‑Si基合金抗氧化成分快速筛选的高通量方法，包括：将制备的Nb‑16Si‑6Cr‑24Ti‑6Al基体安装在多弧离子镀基板正前方，将Cr靶材放置在多弧离子镀靶座上部，将xNb‑ySi‑zTi‑kAl合金靶材放置在靶座下部，利用多弧离子镀技术，制备梯度Nb‑Si基合金薄膜；将梯度Nb‑Si基合金薄膜放置于真空环境中进行退火，之后放置于高温下进行氧化；采用Raman光谱表征氧化薄膜氧化物组成以及分布，结合氧化前成梯度Nb‑Si基合金薄膜成分，表征出各氧化物对应的合金元素含量，筛选出生成连续CrNbO4外氧化膜对应的合金成分，从而快速筛选出最优抗氧化性能所需Nb‑Si基合金成分。

著录项

公开/公告号CN113136551A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-20

原文格式PDF
申请/专利权人北京航空航天大学;
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申请/专利号CN202110274966.4
发明设计人周春根;沙江波;姜威;
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申请日2021-03-15
分类号C23C14/32(20060101);C23C14/16(20060101);C22C27/02(20060101);C23C14/58(20060101);
代理机构11668 北京航智知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄川;史继颖
地址 100191 北京市海淀区学院路37号
入库时间 2023-06-19 11:55:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-03-24

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/32 专利申请号:2021102749664 申请公布日:20210720

发明专利申请公布后的驳回

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专利
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外文文献

1. 一种Nb-Si基合金抗氧化成分快速筛选的高通量方法 [P] . 中国专利： CN113136551A . 2021-07-20
2. 采用高通量技术制备梯度Nb-Si基合金薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN109207952A . 2019-01-15
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